Precisie op stofdeeltjesformaat

Precisie op stofdeeltjesformaat 14-10-2020

Nog kleiner. Nog krachtiger. Nog meer rekencapaciteit. Dat is de trend in de halfgeleiderindustrie. In deze sector opereert NTS Norma. Het bedrijf in Hengelo heeft zich gespecialiseerd in de productie van onderdelen voor machines voor de halfgeleiderindustrie. Dat is precisie op de micrometer. MPM’er Vincent Klein Koerkamp geeft bij NTS Norma leiding aan de ontwikkeling van zogenoemde airmounts, luchtgelagerde voeten voor de nieuwste generatie chipmachines van afnemer ASML.

 

Miljoenen mensen maken wereldwijd gebruik van dingen die worden aangestuurd door chips. Dat aantal groeit alleen maar nu diverse producenten van gebruiksgoederen de grenzen van de technologische mogelijkheden opzoeken. Het gevolg daarvan is dat de halfgeleiderindustrie een mooie toekomst voor zich lijkt te hebben. In 2024, zo verwachten analisten, zal die chipsindustrie dubbel zo groot zijn als in 2018. Als toeleverancier van wereldspelers als ASML wil NTS Norma meebewegen op deze gunstige conjunctuur.

 

Luchtlagers, buffertjes van lucht

NTS Norma verlegt technologische grenzen en herdefinieert precisie, zo lezen we op de corporate website van het bedrijf. In een nauwe samenwerking met ASML werken ze in Hengelo mee aan de ontwikkeling van de nieuwste generatie microchips machines. Deze gaan de norm zetten voor nog kleinere en nog krachtigere rekencapaciteit voor de komende decennia.

NTS Norma - Semicon-1Vincent Klein Koerkamp: “Het opzoeken van de technologische grenzen is ook zeker van toepassing op het project, waaraan ik nu leiding geef binnen NTS Norma. We ontwikkelen drie types airmounts die als een set van elf stuks onder de nieuwste chipmachines van ASML komen.

Je hebt het niet in de gaten als je gewoon achter je bureau zit te werken, maar de aarde trilt voortdurend. Een spoorlijn of weg op afstand geeft een beweging, een trilling door aan de aarde. Iedere trilling, hoe miniem ook, heeft een negatieve invloed op de zuiverheid van de chips die worden gemaakt met behulp van EUV (Extreme Ultra Violet) licht. De airmounts die wij helpen ontwikkelen en die we via prototypes en pilots tot serieproductie gaan  brengen, moeten de chipmachines isoleren van elke trilling.”

Hij maakt inzichtelijk waarom daarbij de grenzen van de technologische mogelijkheden worden opgezocht. “Een airmount heeft – net als veel andere machines – een zuiger-cilindercombinatie. Tussen zuiger en cilinder zit lucht. De met lucht gevulde ruimte tussen beide delen is kleiner dan een stofdeeltje. Daarbij werken we op enkele micrometers (mu) nauwkeurig. ’t Is allemaal nog nèt maakbaar. Vergelijk het met estafettelopen op de Olympische Spelen: elke engineering- en productiestap moet 100 procent optimaal zijn uitgevoerd om uiteindelijk dit kwalitatief hoogstaand eindproduct aan de finish op te kunnen leveren. Hiervoor is onder andere een nieuwe slijpmachine aangeschaft en wordt er een ultra-precisieruimte omheen ingericht. Onlangs hebben we zogenoemde functional models opgeleverd en staan we op het punt om aan de prototypes te beginnen.”

 

Structurele procesverbetering

Welke toegevoegde waarde heeft Vincent als MPM’er in dit productieproces? “Nou, eigenlijk dezelfde die ik ook had bij mijn vorige opdracht. Dáár geen minieme airmounts, maar grote luxe jachten en elektrisch aangedreven veerboten. Zowel daar als hier breng ik mijn expertise in op het projectmatig aanvliegen van een complex ontwikkelproces." 

"We zitten nu in een traject van R&D richting serieproductie. Zo'n proces voeren we niet voor het eerst uit. Innovatief is wel de omvang van het project. Dat is opgedeeld in vijf werkpakketten die alle hun eigen planning en uitdagingen kennen. Ik ben verantwoordelijk voor de integrale uitvoering en beheersing van dit project binnen tijd en budget, inclusief het opzetten van de supply chain met 2nd tiers voor sub assemblies. Dat zijn de zaken waarop ik stuur. Daar mag mijn opdrachtgever mij op aanspreken. Daarnaast lever ik een bijdrage aan een structurele procesverbetering bij de opdrachtgever.”

NTS Norma - cleanroom_Het project is zowel voor NTS Norma als voor Vincent Klein Koerkamp een grote uitdaging. “NTS Norma wil in deze gunstige conjunctuur een grotere toegevoegde waarde krijgen in de supply chain van ASML. Daarom dit ontwikkeltraject. Het bedrijf heeft de ambitie groter te worden. Het heeft dit jaar een nieuwe cleanroom geopend met een werkoppervlak van 16.000 m2. Een flink deel van die cleanroom wordt straks gebruikt voor de productie van de airmounts. Voor mij heeft dit project de uitdaging om een innovatief proces zo efficiënt en effectief mogelijk te laten verlopen, met een grote klanttevredenheid bij ASML en NTS Norma als mooi gevolg.”